信越化学积极投资光掩膜坯料事业

为了扩大光掩膜坯料事业，信越化学工业株式会社（总公司：东京，社长：齐藤恭彦）将实施约140亿日元的设备投资。

此次投资将分别在武生工厂（福井县越前市）和直江津工厂（新泻县上越市）的旧工厂实施。武生工厂将新建厂房并强化高端ArF产品的生产设备，计划于2021年4月前竣工。另一方面，直江津工厂将强化作为事业核心的通用ArF产品的生产设备，计划在2019年年底前竣工。此次投资将使信越化学光掩膜坯料的生产能力提升30%。

随着半导体元件产量的增加和产品的不断小型化，无论是通用ArF产品还是高端ArF产品，光掩膜坯料的全球需求都在不断增长。信越化学将切实把握这些需求，进一步扩大事业规模。

【信越化学的光掩膜坯料事业】

长久以来，信越化学一直致力于研究开发半导体制造工序中使用的材料，光掩膜坯料便是其中的一种，并于2009年将其商业化，在直江津工厂正式开始了生产。2016年，武生工厂也开始生产该产品，在切实履行向客户提供优质产品这一企业责任的同时，通过在两个生产据点进行生产力图达到分散事业风险的目的。

在事业步入正轨后，信越化学开始推进高端产品的开发工作以满足客户需求。最终，我们成功地开发出了利用高精度微细加工技术生产的光掩膜坯料。信越化学的这一高端光掩膜坯料被认定为全球标准产品。

【光掩膜坯料】

是半导体制造工序中使用的光掩膜的材料。在硅晶片上绘制电路时，会使用光掩膜版作为电路的原版。